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光学技研の高精度研磨を代表とする高度な結晶加工技術により複屈折結晶の切り出しから成形・研磨・反射防止膜・オプチカルコンタクトまで社内一貫加工を行っております。
さまざまな波長板や広帯域波長板により培った波長板に対する技術と紫外用光学部品により培った高精度研磨技術から開発された光学技研独自の波長板です。
設計・位相差評価も対応しておりますので特注仕様品や開発品についても是非お問い合わせ下さい。 |
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| 光学技研では紫外領域で透過率の高い複屈折結晶を組み合わせ、位相差の波長依存性を抑えたVUV/DUV広帯域波長板を開発致しました。屈折率はその波長により異なります。
そのため複屈折も波長により異なり、その位相差も波長により異なってきます。特に紫外域では屈折率の分散が大きくこれまでに広帯域化する事は困難とされてきました。そこで複屈折結晶の組み合わせを最適化し、波長依存性を抑えた波長板を可能にしています。
AFM測定計により紫外域用として必要な加工精度を高いレベルで管理し、真空紫外用分光光度計と当社独自製品UVグラントムソンプリズムを用いた位相精度評価により光学特性まで保証する事を可能にしています。 |
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| 材質 |
光学用人工結晶 |
| 基板形状 |
17×17×ｔ （厚さは設計波長による） |
| スクラッチ-ディグ |
10-5 |
| コーティング |
対応可(DUVのみ) |
| ホルダ |
対応可 |
| タイプ |
エアスペース、オプティカルコンタクト |
| 波長例 |
| 構成 |
適応波長(nm) |
位相差 |
| コンタクト |
160〜240 |
1/2 or 1/4 |
| 200〜400 |
1/2 or 1/4 |
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| ※この他の仕様・波長についてもお気軽にお問い合わせください。 |
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紫外広帯域波長板の位相差波長依存性を下図の通り示します。参考までに0次波長板との比較します。
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| 深紫外(DUV)対応広帯域1/4波長板 |
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深紫外(DUV)対応広帯域1/4波長板透過率 |
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真空紫外(VUV)対応広帯域1/4波長板 |
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真空紫外(VUV)対応広帯域1/4波長板透過率 |
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