特注対応の加工事例2

CaF2プリズム

お客様のニーズに応えるため、まず結晶に関して素材評価から選定まで行い、選定された結晶を用いてプリズムを作成いたします。
角度公差±5秒で加工可能です。
＊その他どのような形状でも検討の上、対応いたします。

加工例：真空紫外用193nm用プリズム
当社で結晶の内部評価、透過率測定を行った上で、プリズム作成を行います。
お客様のご要望に応じて、検査データを添付いたします。

導波路研磨

PPMgLN、PPMgSLT、Siなど種々の材料を使用した導波路研磨において、導波路部分の面精度評価（二光束顕微鏡での評価）も含め加工いたします。

加工例：0.15×0.3[mm]のサイズで、端ダレを出さずにエッジを出した加工が可能。
＊その他どのような形状でも検討の上、対応いたします。

超薄板化研磨

当社の高精度研磨技術が可能にした超薄板化研磨加工です。各基板を高平行・高平坦に研磨することで薄さ1μm～の板厚を実現いたします。非常に薄いため、薄板研磨の板厚精度や、平行度を厚さの1/10以下に仕上げております。また、本加工には研磨技術以外に各基板の接着精度も大変重要な要素で、当社の一貫生産技術ならではの加工です。