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光学技研では、全く新しい構成のDUV域対応の直線偏光子を開発致しました。
さらに、直線偏光子としては、最も使い勝手の良いグラントムソンタイプにて、それを実現することに成功致しました。
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グラントムソンプリズムの詳細説明へ |
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これまで、193nmを含むDUV域においては、MgF2製のローションプリズムでしか対応できておりませんでしたが、ローションプリズムでは、同一方向に両偏光が出射してしまうため、片偏光分離には不向きとされてきました。
また、グランテーラータイプで課題とされていました、狭い視野角や、使用帯域の狭さも解決しております。 |
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・193nmにおける高い透過特性
・193nm〜2μm帯までの広帯域対応
・グラントムソンタイプならではの高い汎用性
・接着剤を使用しないシンプルな構造
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