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ファブリーペローエタロンとはファブリーペロー干渉系のうち、干渉間距離が固定されているものをいいます。その構成によりソリッドエタロンとエアギャップエタロンに大別されています。
ファブリーペロー干渉系では、対向した反射面間の干渉効果により特定の波長が強められて透過するという波長フィルターの効果があります。その特性は通常FSR(自由スペクトル領域)とFinesseにより特定することができます。
FinesseはFSRとFWHM(半値全幅)の比で表され、FWHMは主に反射率により決定されます。
透過中心波長は、干渉間距離によって決定されます。ソリッドエタロンの場合は板厚そのものであり、エアギャップエタロンの場合は反射面間のスペーサの厚さで決定されます。また、入射角を調整することにより透過中心波長を調整することも可能ですが、これはわずかな量に限られますので、透過中心波長の決定には高い研磨精度が要求されます。さらにソリッドエタロンにおいては、高い平行度も同時に要求されます。光学技研では、独自の研磨技術により高精度エタロンを数多く生産しております。
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透過強度スペクトラム |
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透過強度スペクトラムの反射依存性 |
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