2015.04.16 EPD蒸着装置、大型外周刃スライサー、12インチ対応レーザー干渉計(Zygo VerifireXPZ)を新たに導入しました。 新規設備としてEPD蒸着装置、大型外周刃スライサー、12インチ対応レーザー干渉計(Zygo VerifireXPZ)を導入しました。詳細は技術ページをご覧ください。