素材評価、加工精度評価

当社は3つのクリーンルームを保有しています。クリーンな環境の下、顕微鏡や干渉計、三次元光学プロファイラー、角度測定器プリズムマスターなど多数の精密測定機器により製品の測定・保証を行っています。

研磨加工において、表面粗さは重要なパラメータの一つです。当社ではサブナノの超精密研磨面の表面形状を非接触の三次元光学プロファイラーで測定し、表面粗さを保証しています。また、光学的に評価の難しいものは、AFMによる評価も可能です。ご要望に応じて三次元データを添付し、お客様の解析へ貢献するとともに、常に自社のさらなる高精度研磨技術の向上を目指しています。

加工実例：石英 1Å rms

当社では、自社開発したシュリーレン光学系を使用し、材料の内部評価から加工前後の歪まで評価を行っております。

当社では、12inchのZygo干渉計、Verifire XPZ他3台の干渉計や、表面粗さ測定計のZygo NewView7300を配備し、0.3mm以下の素材から300mmまでの素材を評価できます。ご要望により、検査データを添付いたします。検査工程だけでなく、各加工工程内での確認の際もこれらの評価系を使用しています。