技術

成膜加工

当社では、自社内に汎用性の高いバッチ式装置を擁し、一貫生産の中であらゆる素材形状、波長域において、膜設計をご提案し、用途に合わせた成膜方法(IAD、IP、EPD、抵抗加熱等)にて成膜加工を行います。


EPD蒸着装置


IAD蒸着装置


IP蒸着装置

※ジオマテック株式会社との協業により、スパッタ等の成膜加工も可能です。

成膜可能な波長領域と製品分野、応用製品

製品加工例

紫外領域光学部品:193.4nm AR膜、実測値

固体レーザー結晶:LBO 3波長AR膜、実測値

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