成膜加工
当社では、自社内に汎用性の高いバッチ式装置を擁し、一貫生産の中であらゆる素材形状、波長域において、膜設計をご提案し、用途に合わせた成膜方法(IAD、IP、EPD、抵抗加熱等)にて成膜加工を行います。
EPD蒸着装置
IAD蒸着装置
IP蒸着装置
※ジオマテック株式会社との協業により、スパッタ等の成膜加工も可能です。
成膜可能な波長領域と製品分野、応用製品

製品加工例
紫外領域光学部品:193.4nm AR膜、実測値

固体レーザー結晶:LBO 3波長AR膜、実測値

技術
当社では、自社内に汎用性の高いバッチ式装置を擁し、一貫生産の中であらゆる素材形状、波長域において、膜設計をご提案し、用途に合わせた成膜方法(IAD、IP、EPD、抵抗加熱等)にて成膜加工を行います。
EPD蒸着装置
IAD蒸着装置
IP蒸着装置
※ジオマテック株式会社との協業により、スパッタ等の成膜加工も可能です。
紫外領域光学部品:193.4nm AR膜、実測値
固体レーザー結晶:LBO 3波長AR膜、実測値