MT波長板

1枚の結晶のみで製作した0次または低次の厚さが非常に薄い波長板です。
一般的に真0次波長板（トゥルーゼロ）は厚さの薄い波長板になりますが、特に紫外光用の場合、素子厚は非常に薄くなり約10µm程度になります。
そのため、一般的にはダブルプレートやベース板に貼り付けた構造になりますが、ダブルプレートは位相差の入射角依存性が大きくなり、ベース貼り付け型は接合部の信頼性に課題が残ります。そのため、当社では、高精度加工を生かした薄片化技術で、1枚の結晶のみで製作したシンプルな構造の波長板を製作、販売しております。
MT波長板は素子厚が約10µm程度ですが、両面にAR膜も成膜しており、取り扱いを容易にするためにホルダー付きとなります。
標準仕様としては、λ=193nm用、213nm用、266nm用ですが、その他の波長についても製作いたします。

表1 MT波長板 QWP/HWP 標準仕様

名称/型式	MTQ193		MTH193		MTQ213	MTH213	MTQ266	MTH266
外観	S/D = 30/10				S/D = 30/10		S/D = 30/10
透過波面, PV （λ）	1/10 @ 633nm				1/10 @ 633nm		1/10 @ 633nm
波長（nm）	193.4				213		266
位相差（deg）	270		180		270	180	270	180
位相差誤差（deg）	≦±3		≦±3		≦±3	≦±3	≦±2	≦±2
コーティング	両面AR膜反射率R≦0.5% 損失A≦1.0%		両面AR膜反射率R≦0.5% 損失A≦1.0%		両面AR膜反射率R≦0.5%	両面AR膜反射率R≦0.5%	両面AR膜反射率R≦0.5%	両面AR膜反射率R≦0.5%
透過率（%）	≧96		≧96		≧97	≧97	≧97	≧97
有効（mm）	Φ16	Φ12	Φ16	Φ12	注1）Φ12	注1）Φ12	注1）Φ12	注1）Φ12
ホルダー径（mm）	Φ30	Φ25.4	Φ30	Φ25.4	注1）Φ25.4	注1）Φ25.4	注1）Φ25.4	注1）Φ25.4
ホルダー厚さ（mm）	3	3	3	3	3	3	3	3

注1)：有効Φ 16、ホルダー径Φ 30に付いても特注対応いたします。

図1 Φ25.4 MT波長板の形状図

図2 MTQ193と従来品の波長依存性の比較

図3 MTH193と従来品の波長依存性の比較

図4 位相差の入射角依存性比較

図5 MTQ193と従来品の入射角依存性比較

図6 MTH193と従来品の入射角依存性比較

表2 位相差の温度依存性

HWP/QWP	波長板タイプ	温度依存性（°/℃）
QWP	MTQ193	-0.14
	MgF2製 0次ダブルプレート	-0.003
	MgF2 高次単板	-0.12
HWP	MTH193	-0.09
	MgF2製 0次ダブルプレート	-0.005
	MgF2 高次単板	-0.12