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MT波長板

1枚の結晶のみで製作した0次または低次の厚さが非常に薄い波長板です。
一般的に真0次波長板(トゥルーゼロ)は厚さの薄い波長板になりますが、特に紫外光用の場合、素子厚は非常に薄くなり約10µm程度になります。
そのため、一般的にはダブルプレートやベース板に貼り付けた構造になりますが、ダブルプレートは位相差の入射角依存性が大きくなり、ベース貼り付け型は接合部の信頼性に課題が残ります。そのため、当社では、高精度加工を生かした薄片化技術で、1枚の結晶のみで製作したシンプルな構造の波長板を製作、販売しております。
MT波長板は素子厚が約10µm程度ですが、両面にAR膜も成膜しており、取り扱いを容易にするためにホルダー付きとなります。
標準仕様としては、λ=193nm用、213nm用、266nm用ですが、その他の波長についても製作いたします。

表1 MT波長板 QWP/HWP 標準仕様

名称/型式 MTQ193 MTH193 MTQ213 MTH213 MTQ266 MTH266
外観 S/D = 30/5 S/D = 30/5 S/D = 30/5
透過波面, PV (λ) 1/10 @ 633nm 1/10 @ 633nm 1/10 @ 633nm
波長 (nm) 193.4 213 266
位相差 (deg) 270 180 270 180 270 180
位相差誤差 (deg) ≦±3 ≦±3 ≦±3 ≦±3 ≦±2 ≦±2
コーティング 両面AR膜
反射率R≦0.5%
損失A≦1.0%
両面AR膜
反射率R≦0.5%
損失A≦1.0%
両面AR膜
反射率R≦0.5%
両面AR膜
反射率R≦0.5%
両面AR膜
反射率R≦0.5%
両面AR膜
反射率R≦0.5%
透過率 (%) ≧96 ≧96 ≧97 ≧97 ≧97 ≧97
有効  (mm) Φ16 Φ12 Φ16 Φ12 注1)Φ12 注1)Φ12 注1)Φ12 注1)Φ12
ホルダー径 (mm) Φ30 Φ25.4 Φ30 Φ25.4 注1)Φ25.4 注1)Φ25.4 注1)Φ25.4 注1)Φ25.4
ホルダー厚さ (mm) 3 3 3 3 3 3 3 3

注1):有効Φ 16、ホルダー径Φ 30に付いても特注対応いたします。

図1 Φ25.4 MT波長板の形状図

図2 MTQ193と従来品の波長依存性の比較

図3 MTH193と従来品の波長依存性の比較

図4 位相差の入射角依存性比較

図5 MTQ193と従来品の入射角依存性比較

図6 MTH193と従来品の入射角依存性比較

表2 位相差の温度依存性

HWP/QWP 波長板タイプ 温度依存性(°/℃)
QWP MTQ193 -0.14
MgF2製 0次 ダブルプレート -0.003
MgF2 高次単板 -0.12
HWP MTH193 -0.09
MgF2製 0次 ダブルプレート -0.005
MgF2 高次単板 -0.12

図7 AR膜反射率測定結果

図8 透過率測定結果

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